●用于對真空規(guī)的校準
●低真空規(guī)管校準利用靜態(tài)穩(wěn)壓比對法
●高真空規(guī)管校準利用動態(tài)比對法
●低真空校準標準規(guī)管采用MKS 690A高精度薄膜規(guī)，高真空校準標準規(guī)管采用MKS SRG-3轉(zhuǎn)子規(guī)
●低真空校準室本底真空度優(yōu)于1x 10-5Pa
●高真空校準室本底真空度優(yōu)于5x 10-7 Pa
●烘烤前2小時內(nèi)高真空腔室真空度達到10-5Pa,檢漏儀檢測漏率≤10-12 mbar .L . s-1
●烘烤24小時后，極限真空度可達5x 10-8Pa
●可擴展漏孔校準
●符合計量標準JJG729-1991 《二等 標準動態(tài)相對法真空裝置檢定規(guī)程》
●符合計量校準規(guī)范JJF 1062-1999《電離真空計》
●符合計量校準規(guī)范JJF 1050-1996《工作用熱傳導(dǎo)真空計校準規(guī)范》
●符合計量標準JJG 932-1998《壓阻真空計檢定規(guī)程》
●符合計量標準JJG 462-2004《二等標準電離真空計》
真空校準系統(tǒng)（Vacuum Gauge Calibration System）
